规格参数：
测量范围：
X向行程：200㎜ 圆工作台直径：φ213㎜
Y向行程：100㎜ 平工作台尺寸（㎜）：260×270
测角目镜角度分划范围：360° 顶针间的最大夹紧长度：700㎜
螺纹轮廓目镜角度分划范围：±7° 顶针间能容纳的最大直径：φ100㎜
圆工作台角度分划范围：0°~360° 高顶针架最大夹紧长度：200㎜
圆分度头角度分划范围：0°~360° 高顶针架能容纳的最大直径：φ250㎜
主显微镜立柱的倾斜范围：±12° 干涉狭缝旋转范围：±90°
分度值：
X、Y向分度值：0.0002㎜ 圆工作台角度分度值：30″
测角目镜角度分度值:1′ 圆分度头角度分度值：1′
轮廓目镜角度分度值：±12 主显微镜立柱倾斜角度分度值：30′
测量准确度（被测件与仪器温度差别不大于0.5℃,仪器室内温度20℃±1℃）：
(1+L/100)μm，其中L为测量长度，单位：㎜
物镜放大率，工作距离及视场直径：
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物镜放大率 |
总放大率 |
工作距离（㎜） |
视场直径（㎜） |
|
1× |
10× |
≈79 |
≈26.70 |
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3× |
30× |
≈69 |
≈6.7 |
|
5× |
50× |
≈49 |
≈4 |
光学定位器的主要技术参数:
测杆垂直方向摆动范围:±3° 定位变动性：＜1μm
孔径大于5㎜时，可测孔的最大深度：≈15㎜ 测力（N）：0.1±0.03
测量范围(㎜):5-200
仪器主机外形尺寸(㎜)长×宽×高=1300×1250×80
仪器主机重量：450㎏ |
